高低溫真空環境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等。
可選附件：
t 防震桌
t 多級壓縮制冷機
t 機械泵/分子泵組/離子泵
t 射頻部件
t 各類型頻率真空接頭
t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線等…
t 各類探針夾具
t Chuck運動裝置
t 電磁鐵系統/超導磁鐵系統
t 1Mpa正壓系統
t 超高溫升級選件
t 超高真空升級選件
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技術指標：
型號
T81-50探針臺
T80-50探針臺
制冷方式
液氦/液氮制冷
閉循環制冷機
腔體材質
無磁不銹鋼或者鋁合金
真空度
真空上等高達10-8Pa
真空腔觀察窗尺寸
2inch（可選）
控溫范圍
4.2K-450K
5K-450K
控溫分辨率
0.001K控溫儀相關
溫度穩定性
0.1K控溫儀相關
降溫時間
40min
150min內，視制冷機功率定
溫度傳感器
硅二極管、PT100（3個，樣品臺和探針臂和防輻射屏上各一個）
加熱電源
LVDC 低壓直流
樣品臺材質
鍍金無氧銅
樣品臺尺寸
直徑20-50mm，可選100mm
樣品臺平整度
≤7μm
樣品臺固定方式
固定的樣品臺（可升級隨位移臺移動）
樣品臺振動級別
≤50納米
≤1μm（三級減震）
探針臂數量
2個、4個、6個、8個可選
探針臂機械精度
±12.5mm(可升級±25mm),精度1μm（可選）
探針種類
鎢、鈹銅、微波探針（可選高達67GHz的GSG探針）
探針調節
真空波紋管外部調節，手動控制
放大倍數
16~100X/20~4000X
顯微鏡行程
X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm
電力需求
220V 50-60Hz
京公網安備 11010602006210號
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