探針臺怎樣維護(hù)和保養(yǎng)
探針臺，是我們半導(dǎo)體實驗室電學(xué)性能測試的常用設(shè)備，主要用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的 CP 測試環(huán)節(jié)，負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試，實現(xiàn)更加**的數(shù)據(jù)測試測量。
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那探針臺怎樣維護(hù)和保養(yǎng)呢？
1.避免碰撞：在安裝，操作探針臺時應(yīng)避免碰撞，機(jī)體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。
探針臺怎樣維護(hù)和保養(yǎng)
2.儀器的運輸：儀器運輸時，請先拔掉電源線插頭。儀器運輸應(yīng)使用專門的包裝箱，避免碰到探針臺的任何運動部件。
探針臺怎樣維護(hù)和保養(yǎng)
3.儀器的存放：使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免灰塵將機(jī)械精密部件，光學(xué)部件，電學(xué)接觸面污染，導(dǎo)致儀器精度降低。探針臺機(jī)體清潔時，避免直接潑水清理，以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機(jī)器，以免發(fā)生故障或危險。探針臺光學(xué)部件清潔時，可用鏡頭紙蘸無水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無水酒精時易燃物，注意使用**。停電或長期不用、外出旅行時，請將電源線插頭拔掉以維護(hù)機(jī)器壽命。操作人員必須嚴(yán)格按要**作，以保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確和儀器的正常使用。
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4.工作環(huán)境：探針臺應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺面上，*好是具有防震裝置的工作臺上，避免在高溫，潮濕激烈震動，陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。
